A teljesítménykövetelmények elemzésetitán célpontokkülönböző iparágakban
Gmail:alisa@jmyunti.com
I. A titán céltárgyak alapvető teljesítménykövetelményei
① Tisztaság: A célanyagok egyik fő teljesítménymutatójaként a tisztaság létfontosságú hatással van a vékonyrétegek teljesítményére. A gyakorlati alkalmazásokban a céltisztaság követelményei iparágonként eltérőek. Például a mikroelektronikai iparban a szilícium lapka méretének folyamatos növekedésével és a vezetékszélesség folyamatos csökkenésével a céltisztaság követelményei is nőnek. Korábban a 99,995%-os céltisztaság megfelelt a 0.35um IC folyamatkövetelményeinek, de most a 0.18um vonalak elkészítéséhez a céltisztaságnak el kell érnie a 99,999%-ot vagy akár a 99,9999%-ot is.
② Szennyeződéstartalom: A lerakódott filmek fő szennyező forrásai a cél szilárd anyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz. Ezért a különböző célokat szolgáló célpontok eltérő követelményeket támasztanak a szennyeződéstartalomra vonatkozóan. Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyak esetében speciális követelmények vonatkoznak az alkálifém-tartalomra és a radioaktív elemtartalomra.
③ Sűrűség: A cél szilárd anyag pórusainak csökkentése és a porlasztott film teljesítményének javítása érdekében a célnak általában nagyobb sűrűséggel kell rendelkeznie. A célanyag sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a fólia elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja. Ezen túlmenően a célanyag sűrűségének és szilárdságának javításával az is jobban ellenáll a porlasztási folyamat során fellépő hőterhelésnek. Ezért a sűrűség a célanyag egyik legfontosabb teljesítménymutatója is.
④ Szemcseméret és szemcseméret-eloszlás: A célanyag általában polikristályos szerkezet, és a szemcseméret mikrontól milliméterig terjedhet. Ugyanazon célanyag esetén a finom szemcsés céltárgy porlasztási sebessége általában gyorsabb, mint a durva szemcsés céltárgyé; és a kis szemcseméretű (egyenletes eloszlású) céltárgy porlasztásával leválasztott film vastagsági eloszlása egyenletesebb.
2. A titán céltárgyak tisztasági követelményei a különböző iparágakban
① Integrált áramkörökben használt titán céltárgyak: Az integrált áramkörök rendkívül magas tisztasági követelményeket támasztanak a titán céltárgyakkal szemben, általában nagyobb, mint 99,995%, hogy biztosítsák a fólia teljesítményét és stabilitását.
② Síkképernyős kijelzőkben használt titáncélpontok: A lapos képernyők közé tartoznak a folyadékkristályos kijelzők, a plazmakijelzők, az elektrolumineszcens kijelzők és a terepi emissziós kijelzők. Ezek a kijelzők gyakran használnak porlasztó bevonat technológiát vékony filmrétegek lerakódására a gyártási folyamat során. Közülük a titán céltárgyak, mint az egyik fontos porlasztó céltárgy, általában 99,9%-nál nagyobb tisztaságúnak kell lenniük. Ezen túlmenően, a titáncélpontok széles körben használhatók olyan high-tech területeken is, mint az elektronika, az információs ipar, a lakberendezés és az autóüveggyártás. Ezekben az iparágakban a titán céltárgyakat főként integrált áramkörök, lapos képernyők bevonására, vagy dekorációként és üvegbevonatként használják. A titáncélok teljesítményének és tisztaságának optimalizálásával a különböző iparágak fóliateljesítményre és stabilitásra vonatkozó követelményei teljesíthetők.
Cég: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
Ország: Kína
Hozzáadás: Baoti út, Jintai, Baoji város, Shaanxi, Kína
Cel:+86 18391896637(WHATSAPP)/18391894207
Gmail:alisa@jmyunti.com
Weboldal: www.jm-titanium.com
